由于潛在環境災害、人身危險與財產損失風險的增加，企業面對營運中斷的風險也跟著提升。為了讓企業營運不會中斷，透過信息整合，加強工廠自動化與環境安全監測，如導入廠務監控系統(Facility Monitoring Control System;FMCS)，針對各種工業設施的運行狀態，進行集中監視及遠程控制的自動化管理，便成為工廠自動化的重要趨勢。

     如石化產品的制作過程，往往都必須要在高溫、高壓、高噪音、有機揮發物濃度高的環境下進行，且每小時生產的化學品動輒以百噸計，只要稍有控制不慎或無法及時操控，都可能會造成現場操作人員與原物料的重大損失，對于工廠環境監測的要求，自然居高不下。

      如原油的生產從開采出地表至輸送到石油公司，須經歷采油井、計量站、聯合站、采油廠等設施，每個設施在過去都需要大批人力在現場操控、抄表，加上采油現場的惡劣環境，勢必會造成工作人員的沉重負荷。而石化?化工生產廠商需要的原料，包括原油、乙烯、丙烯、丁二烯、天然氣、蒸氣、氫氣等，在經由管路運輸時，也因為這些原料的特殊性質，往往需要透過監測系統來確認與維護運輸經過地區的安全。

      而在半導體產業方面，由于目前的制程，已經逐步發展到20甚至16納米，可以容忍的氣體顆粒大小范圍也會跟著變小，尤其是制程進入深紫外光(DUV)后，因為微塵物(Particle)對不良率提升的影響更加明顯，相關偵測技術也變得更加重要，如何量測機臺內部的微量揮發性有機氣體及酸性氣體，也就成為下一代制程的重要檢測要點。

      物聯網與監測設備的結合，可以針對工業生產過程中的各種關鍵指標做到實時監控，如企業只要在重度污染物排放口安裝無線傳感設備，不僅可以對污染排放進行實時監測，還可以從遠程關閉排放口，防止突發性環境污染事故發生;也可以透過回饋控制系統，調整生產制程中的相關控制參數，有效降低污染物的排放量，如臺塑六輕就已與環保署合作，對其有機污染物的排放進行在線實時監控。